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光谱共焦的测量模式

光谱共焦的测量模式

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  • 分类:新闻资讯
  • 发布时间:2022-09-05 09:56
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【概要描述】  光谱共焦测量技术通过分析不同波长的光在特定表面上的焦点位置,可以进行高精度的尺寸测量和微观形貌分析。根据这种测量原理,特定波长的光可能聚焦在样品表面,而对于透明样品,两种不同波长的光将聚焦在样品内部和外部。这是光谱共焦提供的两种测量模式,前者是位移测量模式,后者是厚度测量模式。

光谱共焦的测量模式

【概要描述】  光谱共焦测量技术通过分析不同波长的光在特定表面上的焦点位置,可以进行高精度的尺寸测量和微观形貌分析。根据这种测量原理,特定波长的光可能聚焦在样品表面,而对于透明样品,两种不同波长的光将聚焦在样品内部和外部。这是光谱共焦提供的两种测量模式,前者是位移测量模式,后者是厚度测量模式。

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  光谱共焦测量技术通过分析不同波长的光在特定表面上的焦点位置,可以进行高精度的尺寸测量和微观形貌分析。根据这种测量原理,特定波长的光可能聚焦在样品表面,而对于透明样品,两种不同波长的光将聚焦在样品内部和外部。这是光谱共焦提供的两种测量模式,前者是位移测量模式,后者是厚度测量模式。

  1.厚度测量模式

  测量玻璃、透镜等透明样品时,两束不同波长的光束聚焦在样品的正反两面。引入样品的折射率参数后,就可以计算出样品的厚度。与游标卡尺等传统接触式测量工具相比,光谱共焦测量具有非接触式光学测量的所有优点,并且具有单边测量即可获得样品厚度的特点。

  折射率直接影响厚度测量数据的准确性,因此有必要在测量开始时确定样品的折射率。折射率可以指相同材料的折射率。但是,如果想要获得更准确的厚度测量结果,就需要用折光率仪测量样品的折射率。

  2.位移测量模式

  测量模式输出Z方向的高度值,引入XY位移后直接输出点云坐标。该模型与三坐标法、结构光法和激光三角法一致。不同的是,光谱共焦支持亚微米测量精度的反射面测量。

  位移测量模式适用于大多数精密尺寸测量场景,并提供点、线、面测量的多种采样选择。点测量适用于测量物体的振动和液体的高度,输出不同时间序列的Z方向值进行辅助分析。直线测量可以连续记录移动样品表面的Z方向值,可用于断层差检测和二维尺寸分析。表面测量提供了样品表面完整的三维形貌数据,可以进行综合分析,包括粗糙度等项目。

  这是对光谱共焦两种测量模式的介绍。光谱共焦的两种测量方式可以在软件界面上自由切换,无需重启设备或系统。因此,光谱共焦测量技术可以从容应对样品的表面尺寸测量,透明材料的厚度测量,或者透明样品的外部尺寸和厚度的信息。


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