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干涉测厚传感器
对于比较薄的薄膜、玻璃、涂胶等使用光谱共焦位移传感器难以测量， 使用THINKFOCUS的干涉测厚传感器可以轻松测量0.5-50μm的厚度。且可适应范围大，工作距离达到35mm，可以实现在线测量。
测量结果实时记录并导出。
操作方便无需复杂的校准，实时显示，无需复杂的点击操作。
测量速度快，是传统干涉型号100倍速度。以太网通讯，更加稳定快速。
技术参数 量程（可测量厚度范围）
0.5-50μm 工作距离 7-70mm（根据光斑不同） Z轴动态测量范围 5-10mm(对距离无苛刻要求，此范围内波动均可测量） 角度特性 ±5° 光斑尺寸 1-0.1mm（可定制大小） 精度 10nm 分辨率 1μm 测量速度 2000次/秒
全部分类
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