缝隙测量仪
缝隙测量仪主要是用来测量工件在加工、组装过程中产生的缝隙,因为加工或组装中不良产生的缝隙会造成比如气密性差、漏光、积存灰尘杂污等。缝隙测量仪是一款专主要用于检测表面缝隙的非接触精密测量装置,采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描。
最高扫描速度可以达到50mm/s,线宽15mm。±1um的高测量精度,±0.5μm的重复精度可满足您高精度测量需求。可测缝隙20μm~40μm,配合先进的测量算法,可实现高精度的缝隙检测判别及尺寸测量。
型号 |
CLS-G150 |
测量速度 |
≤50mm/s |
测量时间 |
≤2秒/次 |
测量点间距 |
≥1μm自由设置 |
测量精度 |
±1μm |
行程(X方向) |
15mm-40mm(可选) |
重复精度(X) |
±0.5μm |
量程(Z方向) |
400μm/1400μm/4000μm |
精度(Z) |
±0.1μm/0.5μm/1μm |
最小可测宽度 |
20μm/30μm/40μm |
采样频率 |
100Hz-10kHz |
主机输入电压 |
90-264VAC |
主机额定功率 |
400W |
传感器输入 |
24V DC 3A |