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平整度测量机

平整度测量机

平整度测量机

商品分类描述:

平整度测量机是一款高精度的非接触式平整度测量设备。采用共焦位移测量技术结合高精度运动机台,可以实现高速、高精度的平整度检测要求。

 

 

    设置简单,操作方便。±1um的测量精度,±0.5μm的重复精度。

 

型号

SP-1100

测量速度

≤12mm/s

测量点间距

0.2-72μm自由设置

测量精度

±1μm

平台大小

200×200mm

X和Y方向行程

100×100mm

分辨率

0.5μm

重复精度

<1.4μm

最大允许负重

10Kg

量程(Z方向)

400μm/1400μm/4000μm

精度(Z)

±0.1μm/0.5μm/1μm

采样频率

100Hz-10kHz

适配器额定输入

100-240VAC 0.8A 50-60Hz

控制器额定输入

24VDC 1A 1.5A(max)

传感器输入

24V DC 3A