线共焦3D测量传感器
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产品描述
参数
膜厚测量仪是一款非接触式测量设备。采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描，主要是用来测量各种薄膜厚度、导电油膜厚度、涂胶厚度、涂层厚度等。专门解决工业上膜厚测量的问题，改善工艺，提高生产效率和质量。
最高扫描速度可以达到50mm/s，线宽15mm。扫描速度可以达到50mm/s，先进的测量技术，专业的测量算法，±1um的高测量精度，±0.5μm的重复精度可满足您高精度测量需求。
| 型号 | CLS-T150 |
| 测量速度 | ≤50mm/s |
| 测量时间 | ≤2秒/次 |
| 测量点间距 | ≥5μm自由设置 |
| 测量精度 | ±1μm |
| 行程(X方向) | 15mm-40mm（可选） |
| 重复精度（X） | ±0.5μm |
| 量程(Z方向) | 360μm/1000μm/3100μm |
| 精度（Z） | ±0.1μm/0.5μm/1μm |
| 最小可测厚度 | 1μm |
| 采样频率 | 200Hz-4.5kHz |
| 吸合电压 | 24V DC |
| 吸合时间 | 500ms |
| 主机输入电 | 90-264V AC |
| 主机额定功率 | 400W |
| 传感器输入 | 24V DC 3A |
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