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  • 二维轮廓测量仪

        THINKFOCUS CLS-3000系列 二维轮廓测量仪是一款精密的二维轮廓在线扫描设备。采用全新的超高精密运动装置驱动光谱共焦位移传感器进行在线扫描,主要用于测量产品表面的段差、缝隙,粗糙度、截面轮廓等。

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        最高扫描速度可以达到50mm/s,线宽15mm。扫描速度可以达到50mm/s,±1um的测量精度,±0.5μm的重复精度可满足您高精度测量需求。

    型号 CLS-3000
    测量速度 2-20mm/s(可调)
    电动台分辨率 0.05μm
    测量点间距 ≥2μm自由设置
    行程(X方向) 30mm-60mm(可选)
    重复精度(X) ±0.1μm
    量程(Z方向) 110-10000μm(可选)
    精度(Z) ±0.1μm/0.5μm/1μm
    采样频率 200Hz-4.5kHz
    主机输入电 90-264V AC
    主机额定功率 400W
    传感器输入 24V DC 3A

     

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