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  • 膜厚测量仪

    膜厚测量仪是一款非接触式测量设备。采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描,主要是用来测量各种薄膜厚度、导电油膜厚度、涂胶厚度、涂层厚度等。专门解决工业上膜厚测量的问题,改善工艺,提高生产效率和质量。

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    最高扫描速度可以达到50mm/s,线宽15mm。扫描速度可以达到50mm/s,先进的测量技术,专业的测量算法,±1um的高测量精度,±0.5μm的重复精度可满足您高精度测量需求。 

    型号 CLS-T150
    测量速度 ≤50mm/s
    测量时间 ≤2秒/次
    测量点间距 ≥5μm自由设置
    测量精度 ±1μm
    行程(X方向) 15mm-40mm(可选)
    重复精度(X) ±0.5μm
    量程(Z方向) 360μm/1000μm/3100μm
    精度(Z) ±0.1μm/0.5μm/1μm
    最小可测厚度 1μm
    采样频率 200Hz-4.5kHz
    吸合电压 24V DC
    吸合时间 500ms
    主机输入电 90-264V AC
    主机额定功率 400W
    传感器输入 24V DC 3A

     

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