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波纹度测量仪
表面波纹度是间距大于表面粗糙度但小于表面几何形状误差的表面几何不平度，表示了样品表面的起伏程度，这个起伏可能会直接影响零件的比如接触刚度、疲劳强度、结合密闭性或强度、耐磨性、抗振性等。工业界内暂时没有太多好的测量波纹度的方法。
波纹度测量仪采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描，最高扫描速度可以达到50mm/s，线宽15mm。±1um的高测量精度，±0.5μm的重复精度可满足您高精度测量需求。
型号
CLS-W150
测量速度
≤50mm/s
测量时间
≤2秒/次
测量点间距
≥5μm自由设置
测量精度
±1μm
行程(X方向)
15mm-40mm（可选）
重复精度（X）
±0.5μm
量程(Z方向)
360μm/1000μm/3100μm
精度（Z）
±0.1μm/0.5μm/1μm
最小可测Wa
100nm/200nm/300nm
采样频率
200Hz-4.5kHz
主机输入电压
90-264VAC
主机额定功率
400W
传感器输入
24V DC 3A
全部分类
全部分类
