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  • 波纹度测量仪

    表面波纹度是间距大于表面粗糙度但小于表面几何形状误差的表面几何不平度,表示了样品表面的起伏程度,这个起伏可能会直接影响零件的比如接触刚度、疲劳强度、结合密闭性或强度、耐磨性、抗振性等。工业界内暂时没有太多好的测量波纹度的方法。

     

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    波纹度测量仪采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描,最高扫描速度可以达到50mm/s,线宽15mm。±1um的高测量精度,±0.5μm的重复精度可满足您高精度测量需求。

     

    型号

    CLS-W150

    测量速度

    ≤50mm/s

    测量时间

    ≤2秒/次

    测量点间距

    ≥5μm自由设置

    测量精度

    ±1μm

    行程(X方向)

    15mm-40mm(可选)

    重复精度(X)

    ±0.5μm

    量程(Z方向)

    360μm/1000μm/3100μm

    精度(Z)

    ±0.1μm/0.5μm/1μm

    最小可测Wa

    100nm/200nm/300nm

    采样频率

    200Hz-4.5kHz

    主机输入电压

    90-264VAC

    主机额定功率

    400W

    传感器输入

    24V DC 3A

     

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