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  • 三维轮廓测量仪

    三维轮廓测量仪采用国际领先的白光共焦技术,非接触式测量,精度高抗干扰能力强。可以对产品的外观,三维形貌进行全方位的扫描,然后再使用分析软件在扫描的三维形貌上面提取所需要的数据。专业的测量算法可以帮您获取到几乎全部的样品参数,三维轮廓、平整度、粗糙度、高差、缝宽等。高精度、高分辨率、高稳定性等优秀的性能使其成功的应用于高校、研究机构及企业的研发与生产中。

     

     

    其扫描速度可达到12mm/s,0.1μm超高的测量精度可满足大多数测量要求,适应各种不同的工业生产环境,广泛应用于手机制造、航空航天等领域的微器件高精度检测。100μm~12000μm的不同量程可供您选择。200×200mm的测量范围可以测量到大多数器件的外观全貌。

     

    型号 SM-5000
    测量速度 ≤12mm/s
    测量点间距 >5μm 自由设置
    测量精度 0.1μm
    平台大小 200×200mm
    X和Y方向行程 100×100mm
    分辨率 0.5μm
    重复精度 <1.4μm
    最大允许负重 2Kg
    量程(Z方向) 360μm/1100μm/3400μm等
    精度(Z) ±0.1μm/0.5μm/1μm
    采样频率 200Hz-4.5kHz
    适配器额定输入 100-240V AC 0.8A 50-60Hz
    控制器额定输入 24V DC 1A 1.5A(max)
    传感器输入 24V DC 3A

     

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