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三维轮廓测量仪
三维轮廓测量仪采用国际领先的白光共焦技术，非接触式测量，精度高抗干扰能力强。可以对产品的外观，三维形貌进行全方位的扫描，然后再使用分析软件在扫描的三维形貌上面提取所需要的数据。专业的测量算法可以帮您获取到几乎全部的样品参数，三维轮廓、平整度、粗糙度、高差、缝宽等。高精度、高分辨率、高稳定性等优秀的性能使其成功的应用于高校、研究机构及企业的研发与生产中。
其扫描速度可达到12mm/s，0.1μm超高的测量精度可满足大多数测量要求，适应各种不同的工业生产环境，广泛应用于手机制造、航空航天等领域的微器件高精度检测。100μm~12000μm的不同量程可供您选择。200×200mm的测量范围可以测量到大多数器件的外观全貌。
型号 SM-5000 测量速度 ≤12mm/s 测量点间距 >5μm 自由设置 测量精度 0.1μm 平台大小 200×200mm X和Y方向行程 100×100mm 分辨率 0.5μm 重复精度 <1.4μm 最大允许负重 2Kg 量程(Z方向) 360μm/1100μm/3400μm等 精度（Z） ±0.1μm/0.5μm/1μm 采样频率 200Hz-4.5kHz 适配器额定输入 100-240V AC 0.8A 50-60Hz 控制器额定输入 24V DC 1A 1.5A(max） 传感器输入 24V DC 3A
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