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平整度测量机
平整度测量机是一款高精度的非接触式平整度测量设备。采用共焦位移测量技术结合高精度运动机台，可以实现高速、高精度的平整度检测要求。
设置简单，操作方便。±1um的测量精度，±0.5μm的重复精度。
型号
SP-1100
测量速度
≤12mm/s
测量点间距
0.2-72μm自由设置
测量精度
±1μm
平台大小
200×200mm
X和Y方向行程
100×100mm
分辨率
0.5μm
重复精度
＜1.4μm
最大允许负重
10Kg
量程(Z方向)
400μm/1400μm/4000μm
精度（Z）
±0.1μm/0.5μm/1μm
采样频率
100Hz-10kHz
适配器额定输入
100-240VAC 0.8A 50-60Hz
控制器额定输入
24VDC 1A 1.5A（max）
传感器输入
24V DC 3A
全部分类
全部分类
