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  • 平整度测量机

    平整度测量机是一款高精度的非接触式平整度测量设备。采用共焦位移测量技术结合高精度运动机台,可以实现高速、高精度的平整度检测要求。

     

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        设置简单,操作方便。±1um的测量精度,±0.5μm的重复精度。

     

    型号

    SP-1100

    测量速度

    ≤12mm/s

    测量点间距

    0.2-72μm自由设置

    测量精度

    ±1μm

    平台大小

    200×200mm

    X和Y方向行程

    100×100mm

    分辨率

    0.5μm

    重复精度

    <1.4μm

    最大允许负重

    10Kg

    量程(Z方向)

    400μm/1400μm/4000μm

    精度(Z)

    ±0.1μm/0.5μm/1μm

    采样频率

    100Hz-10kHz

    适配器额定输入

    100-240VAC 0.8A 50-60Hz

    控制器额定输入

    24VDC 1A 1.5A(max)

    传感器输入

    24V DC 3A

     

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