光谱共焦技术测量原理
光谱共焦技术测量原理
利用波长信息测量距离
由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值。
主要型号参数
OP2-Fc
安装距离：11mm
量程：±190
线性度：±0.02%F.S.
分辨率：10nm
光斑：10um
OP3-Fc
安装距离：12.7mm
量程：±550
线性度：±0.02%F.S.
分辨率：20nm
光斑：12um
OP4-Fe
安装距离：19mm
量程：±1700
线性度：±0.02%F.S.
分辨率：40nm
光斑：20um
OP5-Fe
安装距离：30mm
量程：±5000
线性度：±0.02%F.S.
分辨率：300nm
光斑：25um
规格/测头
型号With CDS-500
OP1
OP2
OP3
OP4
OP5
安装距离
mm
8
11
12.7
19
30
量程
μm
±55
±190
±5500
±1700
±5000
最大倾角
deg
±45°
±28°
±25°
±21°
±14°
放大器型号
Fc
Fc
Fc
Fe
Fe
光斑尺寸
μm
2
10
12
20
25
位移测量
分辨率
nm
2
5
10
20
150
精度
±0.02%F.S.
±0.02%F.S.
±0.02%F.S.
±0.02%F.S.
±0.02%F.S.
厚度测量
最小厚度测量
μm
5
12
22
66
192
最大厚度测量
μm
100
460
1540
4390
14850
长度
mm
208
176
176
130.5
145.5
直径
mm
27/40
27
27
27
27
规格/控制器
型号
CDS-500
采样频率
200 to 4500 points/sec 用户可定义
光源
蓝色激光
测量模式
位移/厚度
通讯控制
以太网
编码器 增量式（A/B项） 同步I/O
1 Trigger input(TTL)5V
光纤连接器
FC/APC
兼容性
兼容所有型号测头
电源/功耗
24V DC 3A
工作温度
5℃-40℃
放置温度
-30℃-70℃
相对湿度
5%-80%无冷凝
防护等级
IP 40
