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  • 光谱共焦技术测量原理

    光谱共焦技术测量原理

     

    光谱共焦原理图

     

    利用波长信息测量距离

     由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。



     

     

     

    光谱共焦传感器

     

    主要型号参数

     


     

    OP2-Fc

    安装距离:11mm

    量程:±190

    线性度:±0.02%F.S.

    分辨率:10nm

    光斑:10um

    img

    OP3-Fc

    安装距离:12.7mm

    量程:±550

    线性度:±0.02%F.S.

    分辨率:20nm

    光斑:12um

    img

    OP4-Fe

    安装距离:19mm

    量程:±1700

    线性度:±0.02%F.S.

    分辨率:40nm

    光斑:20um

    img

    OP5-Fe

    安装距离:30mm

    量程:±5000

    线性度:±0.02%F.S.

    分辨率:300nm

    光斑:25um

    img

    规格/测头

    型号With CDS-500

     

    OP1

    OP2

    OP3

    OP4

    OP5

    安装距离

    mm

    8

    11

    12.7

    19

    30

    量程

    μm

    ±55

    ±190

    ±5500

    ±1700

    ±5000

    最大倾角

    deg

    ±45°

    ±28°

    ±25°

    ±21°

    ±14°

    放大器型号

     

    Fc

    Fc

    Fc

    Fe

    Fe

    光斑尺寸

    μm

    2

    10

    12

    20

    25

    位移测量

     

     

    分辨率

    nm

    2

    5

    10

    20

    150

    精度

     

    ±0.02%F.S.

    ±0.02%F.S.

    ±0.02%F.S.

    ±0.02%F.S.

    ±0.02%F.S.

    厚度测量

     

     

    最小厚度测量

    μm

    5

    12

    22

    66

    192

    最大厚度测量

    μm

    100

    460

    1540

    4390

    14850

    长度

    mm

    208

    176

    176

    130.5

    145.5

    直径

    mm

    27/40

    27

    27

    27

    27

    规格/控制器

    型号

    CDS-500

    采样频率

    200 to 4500 points/sec 用户可定义

    光源

    蓝色激光

    测量模式

    位移/厚度

    通讯控制

    以太网

    编码器 增量式(A/B项)

    同步I/O

    1 Trigger input(TTL)5V

    光纤连接器

    FC/APC

    兼容性

    兼容所有型号测头

    电源/功耗

    24V DC 3A

    工作温度

    5-40

    放置温度

    -30-70

    相对湿度

    5%-80%无冷凝

    防护等级

    IP 40

     

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