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  • 激光显微镜与光谱共焦测量粗糙度对比

    THINKFOCUS光谱共焦轮廓仪与激光共聚焦显微镜在测量100纳米以上量级时,可以达到同样的测量效果。但是显微镜存在视野小的弊端。而光谱共焦位移传感器的测量范围可以达到100*100mm

    以下是激光共聚焦显微镜与光谱共焦三维轮廓仪测量结果的比对。

     

     

    激光共聚焦显微镜测量

    THINKFOCUS光谱共焦轮廓仪测量仪

    划痕最大深度大约11微米

    显微镜测量

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    划痕最大深度大约15微米

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    划痕最大深度大约3微米

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    划痕最大深度大约0.7微米

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