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  • 干涉测厚传感器

    对于比较薄的薄膜、玻璃、涂胶等使用光谱共焦位移传感器难以测量, 使用THINKFOCUS的干涉测厚传感器可以轻松测量0.5-50μm的厚度。且可适应范围大,工作距离达到35mm,可以实现在线测量。

    测量结果实时记录并导出。

    操作方便无需复杂的校准,实时显示,无需复杂的点击操作。

    测量速度快,是传统干涉型号100倍速度。以太网通讯,更加稳定快速。

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    技术参数

    量程(可测量厚度范围)

    0.5-50μm
    工作距离 7-70mm(根据光斑不同)
    Z轴动态测量范围 5-10mm(对距离无苛刻要求,此范围内波动均可测量)
    角度特性 ±5°
    光斑尺寸 1-0.1mm(可定制大小)
    精度 10nm
    分辨率 1μm
    测量速度 2000次/秒

     

     

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