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平整度测量机

所属分类:
量测专机
产品编号
产品描述
参数

平整度测量机是一款高精度的非接触式平整度测量设备。采用共焦位移测量技术结合高精度运动机台,可以实现高速、高精度的平整度检测要求。

设置简单,操作方便。±1um的测量精度,±0.5μm的重复精度。

 

型号 SP-1100
测量速度 ≤12mm/s
测量点间距 0.2-72μm自由设置
测量精度 ±1μm
平台大小 200×200mm
X和Y方向行程 100×100mm
分辨率 0.5μm
重复精度 <1.4μm
最大允许负重 10Kg
量程(Z方向) 400μm/1400μm/4000μm
精度(Z) ±0.1μm/0.5μm/1μm
采样频率 100Hz-10kHz
适配器额定输入 100-240VAC 0.8A 50-60Hz
控制器额定输入 24VDC 1A 1.5A(max)
传感器输入 24V DC 3A

 

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