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CDS-500/OP3-Fc 光谱共焦位移传感器

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CDS-500/OP3-Fc 光谱共焦位移传感器

产品编号
产品描述
参数

特点:毫米级量程,亚微米级精度。

典型应用:双头测厚,台阶高度。

 

 

 

型号 单位 OP3
安装距离 mm 15
量程 μm ±600
最大倾角 deg ±29°
光斑尺寸 μm 11
分辨率 nm 10(40)
放大器型号   Fc
精度   ±0.02%F.S.
最小厚度测量 μm 22
最大厚度测量 μm 1694
长度 mm 176
重量 kg 0.4
直径 mm 27/32
关键词:
光谱共焦位移传感器
THINKFOCUS
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