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光谱共焦位移传感器CDS-500

商品分类描述:

光谱共焦技术测量原理

 

光谱共焦原理

 

 

 

 

利用波长信息测量距离

THINKFOCUS独创的彩色激光光源发射出一束高密度宽光谱光,通过色散镜头后,在量程范围内形成不同波长的单色光,每个波长对应一个距离值。
测量光射到物体表面反射回来,只有满足共聚焦条件的光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到光的焦点的波长,换算获的距离值。

 

光谱共焦传感器

主要型号参数

 

OP2-Fc

安装距离:11mm

量程:±190

线性度:±0.02%F.S.

分辨率:5nm

光斑:10um

OP3-Fc

安装距离:12.7mm

量程:±550

线性度:±0.02%F.S.

分辨率:10nm

光斑:12um

OP4-Fe

安装距离:19mm

量程:±1700

线性度:±0.02%F.S.

分辨率:20nm

光斑:20um

OP5-Fe

安装距离:30mm

量程:±5000

线性度:±0.02%F.S.

分辨率:150nm

光斑:25um

规格/测头

型号 With CDS-500(1)   OP1 OP2 OP3 OP4 OP5 Pro4 Pro5
安装距离 mm 8 11 12.7 19 30 24 64
量程 μm ±55 ±190 ±550 ±1700 ±5000 ±2000 ±5000
最大倾角(2) deg ±45° ±28° ±25° ±21° ±14° ±45° ±24°
放大器型号   Fc Fc Fc Fe Fe Fc Fc
光斑尺寸(3) μm 2 10 12 20 25 15 90
位移测量  
分辨率(4) nm 2(8) 5(20) 10(40) 20(80) 150(600) 20(80) 150(600)
精度(5)   ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.02%F.S.
厚度测量(6)  
最小厚度测量 μm 5 12 22 66 192 66 192
最大厚度测量 μm 100 511 1694 5098 17078 5665 13514
长度 mm 208 176 176 130.5 145.5 261 241
重量 kg 0.39 0.20 0.20 0.13 0.15 1.52 1.28
直径(7) mm 27- 27 27 27 27 27- 27-

 

规格/控制器

型号 CDS-500
采样频率 200 to 4500 points/sec 用户可定义
光源 蓝色激光
测量模式 位移/厚度
通讯控制 以太网
同步I/O 1 Trigger input(TTL) 5V
编码器 增量式(A/B项)
光纤连接器 FC/APC
兼容性 兼容所有型号测头
电源/功耗 24V DC 3A
工作温度 5-40
放置温度 -30-70
相对湿度 5%-80%无冷凝
重量 2kg
防护等级 IP 40