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光谱共焦位移传感器

商品分类描述:

光谱共焦技术测量原理

光谱共焦原理

 

利用波长信息测量距离

    由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。

 

光谱共焦传感器

主要型号参数

 

OP2-Fc

安装距离:11mm

量程:±180

线性度:±0.02%F.S.

分辨率:10nm

光斑:10um

OP3-Fc

安装距离:12.7mm

量程:±500

线性度:±0.02%F.S.

分辨率:20nm

光斑:12um

OP4-Fe

安装距离:19mm

量程:±1550

线性度:±0.02%F.S.

分辨率:40nm

光斑:20um

OP5-Fe

安装距离:30mm

量程:±5000

线性度:±0.02%F.S.

分辨率:300nm

光斑:25um

规格/测头

型号With CDS-5200

 

OP1

OP

OP3

OP4

OP5

安装距离

mm

8

12.7

12.7

19

30

量程

μm

±55

±180

±500

±1550

±5000

最大倾角

deg

±45°

±28°

±25°

±21°

±14°

放大器型号

 

Fc

Fc

Fc

Fe

Fe

光斑尺寸

μm

2

10

12

20

25

位移测量

 

 

分辨率(平均128次)

nm

5

10

20

40

300

精度

 

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

厚度测量

 

 

最小厚度测量

μm

5

12

22

66

192

最大厚度测量

μm

100

460

1540

4390

14850

长度

mm

——

176

176

130.5

145.5

直径

mm

——

27

27

27

27

 

规格/控制器

 

型号

CDS-500

采样频率

200 to 4500 points/sec 用户可定义

光源

蓝色激光

测量模式

位移/厚度

通讯控制

以太网

编码器 增量式(A/B项)

同步I/O

1 Trigger input(TTL)5V

光纤连接器

FC/APC

兼容性

兼容所有型号测头

电源/功耗

24V DC 3A

工作温度

5-40

放置温度

-30-70

相对湿度

5%-80%无冷凝

防护等级

IP 40