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光谱共焦技术测量原理

商品分类描述:

光谱共焦技术测量原理

利用波长信息测量距离

由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。

 
 
 
 
控制器
 
 
 
主要型号参数
 
OP2-Fc
安装距离:11mm
量程:±200
线性度:±0.025%F.S.
分辨率:10nm
光斑:10um
 
OP3-Fc
安装距离:12.7mm
量程:±650
线性度:±0.025%F.S.
分辨率:20nm
光斑:12um
 
OP4-Fe
安装距离:19mm
量程:±2000
线性度:±0.025%F.S.
分辨率:40nm
光斑:20um
OP5-Fd
安装距离:24mm
量程:±5000
线性度:±0.025%F.S.
分辨率:300nm
光斑:25um

 

规格/测头

 

型号 With CDS-200

 

OP2

OP3

OP4

OP5

OP5L

安装距离

mm

11

12.7

19

24

30

量程

μm

±200

±650

±2000

±5000

±5000

最大倾角

deg

±28°

±25°

±21°

±14°

±12°

放大器型号

 

Fc

Fc

Fe

Fd

Fe

光斑尺寸

μm

10

12

20

25

25

光量收集率

--

41

57

91

100

80

位移测量

 

 

分辨率平均128次)

nm

10

20

40

300

300

精度

 

±0.025%F.S.

±0.025%F.S.

±0.025%F.S.

±0.025%F.S.

±0.025%F.S.

最小可测粗糙度Ra

nm

30

90

170

600

600

厚度测量

 

 

最小厚度测量

μm

22

40

120

350

350

最大厚度测量

μm

510

2000

5700

16500

16500

长度

mm

176

176

130.5

145.5

--

直径

mm

27

27

27

27

27

 

规格/控制器

 

型号

CDS-200

采样频率

100 to 1000 points/sec 用户可定义

光源

白色 LED

测量模式

位移/厚度

数字I/O

USB2.0

同步I/O

1 Trigger input(TTL)

光纤连接器

FC/APC

兼容性

兼容所有型号测头

电源/功耗

24V DC 2A

工作温度

5-40

放置温度

-30-70

相对湿度

5%-80%无冷凝

防护等级

IP 40