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膜厚测量仪

 

膜厚测量仪是一款非接触式测量设备。采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描,最高扫描速度可以达到50mm/s,线宽15mm。扫描速度可以达到50mm/s,主要是用来测量各种薄膜厚度、导电油膜厚度、涂胶厚度、涂层厚度等。先进的测量技术,专业的测量算法,±1um的高测量精度,±0.5μm的重复精度可满足您高精度测量需求。专门解决工业上膜厚测量的问题,改善工艺,提高生产效率和质量。

 

 

膜厚测量仪是一款非接触式测量设备。采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描,最高扫描速度可以达到50mm/s,线宽15mm。扫描速度可以达到50mm/s,主要是用来测量各种薄膜厚度、导电油膜厚度、涂胶厚度、涂层厚度等。先进的测量技术,专业的测量算法,±1um的高测量精度,±0.5μm的重复精度可满足您高精度测量需求。专门解决工业上膜厚测量的问题,改善工艺,提高生产效率和质量。

 

型号

CLS-T150

测量速度

≤50mm/s

测量时间

≤2秒/次

测量点间距

≥1μm自由设置

测量精度

±1μm

行程(X方向)

15mm-40mm(可选)

重复精度(X)

±0.5μm

量程(Z方向)

400μm/1400μm/4000μm

精度(Z)

±0.1μm/0.5μm/1μm

最小可测厚度

1μm

采样频率

100Hz-10kHz

吸合电压

24V DC

吸合时间

500ms

主机输入电压

90-264VAC

主机额定功率

400W

传感器输入

24V DC 3A