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三维轮廓测量仪

三维轮廓测量仪采用国际领先的白光共焦技术,非接触式测量,精度高抗干扰能力强。可以对产品的外观,三维形貌进行全方位的扫描,然后再使用分析软件在扫描的三维形貌上面提取所需要的数据。扫描速度可达到12mm/s,0.1μm超高的测量精度可满足大多数测量要求,适应各种不同的工业生产环境,广泛应用于手机制造、航空航天等领域的微器件高精度检测。100μm~12000μm的不同量程可供您选择。200×200mm的测量范围可以测量到大多数器件的外观全貌,专业的测量算法可以帮您获取到几乎全部的样品参数,三维轮廓、平整度、粗糙度、高差、缝宽等。高精度、高分辨率、高稳定性等优秀的性能使其成功的应用于高校、研究机构及企业的研发与生产中。

 

 

三维轮廓测量仪采用国际领先的白光共焦技术,非接触式测量,精度高抗干扰能力强。可以对产品的外观,三维形貌进行全方位的扫描,然后再使用分析软件在扫描的三维形貌上面提取所需要的数据。扫描速度可达到12mm/s,0.1μm超高的测量精度可满足大多数测量要求,适应各种不同的工业生产环境,广泛应用于手机制造、航空航天等领域的微器件高精度检测。100μm~12000μm的不同量程可供您选择。200×200mm的测量范围可以测量到大多数器件的外观全貌,专业的测量算法可以帮您获取到几乎全部的样品参数,三维轮廓、平整度、粗糙度、高差、缝宽等。高精度、高分辨率、高稳定性等优秀的性能使其成功的应用于高校、研究机构及企业的研发与生产中。

 

型号

SM-1100

测量速度

≤12mm/s

测量点间距

0.2-72μm自由设置

测量精度

0.1μm

平台大小

200×200mm

X和Y方向行程*

100×100mm

分辨率

0.5μm

重复精度

<1.4μm

最大允许负重

10Kg

量程(Z方向)

400μm/1400μm/4000μm

精度(Z)

±0.1μm/0.5μm/1μm

采样频率

100Hz-10kHz

适配器额定输入

100-240VAC 0.8A 50-60Hz

控制器额定输入

24VDC 1A 1.5A(max)

传感器输入

24V DC 3A