线共焦3D测量传感器
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产品描述
参数
表面波纹度是间距大于表面粗糙度但小于表面几何形状误差的表面几何不平度，表示了样品表面的起伏程度，这个起伏可能会直接影响零件的比如接触刚度、疲劳强度、结合密闭性或强度、耐磨性、抗振性等。工业界内暂时没有太多好的测量波纹度的方法。
波纹度测量仪采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描，最高扫描速度可以达到50mm/s，线宽15mm。±1um的高测量精度，±0.5μm的重复精度可满足您高精度测量需求。
| 型号 | CLS-W150 |
| 测量速度 | ≤50mm/s |
| 测量时间 | ≤2秒/次 |
| 测量点间距 | ≥5μm自由设置 |
| 测量精度 | ±1μm |
| 行程(X方向) | 15mm-40mm（可选） |
| 重复精度（X） | ±0.5μm |
| 量程(Z方向) | 360μm/1000μm/3100μm |
| 精度（Z） | ±0.1μm/0.5μm/1μm |
| 最小可测Wa | 100nm/200nm/300nm |
| 采样频率 | 200Hz-4.5kHz |
| 主机输入电压 | 90-264VAC |
| 主机额定功率 | 400W |
| 传感器输入 | 24V DC 3A |
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