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光谱共焦位移传感器

产品编号
产品描述
参数

超强测量能力——可满足更多的测量需求

 

1.THINKFOCUS 光谱共焦位移传感器 CDS-700光斑更小。

 

 

2.THINKFOCUS 光谱共焦位移传感器 CDS-700 无平均化处理。

3.THINKFOCUS 光谱共焦位移传感器 CDS-700 可同时适应多种材料,且稳定测量。

规格/测头

型号
With CDS-700
  OP1 OP2 OP3 OP4   OP4L OP5   OP6 OP8
安装距离(1) mm 8 13.2 16 25.5 37 36.5 215 39.5
量程 μm ±60 ±200 ±600 ±1800 ±2200 ±5500 ±5000 ±4000
最大倾角(2) deg ±40° ±37.5° ±29° ±21° ±25° ±14° ±8° ±18.5°
放大器型号   Fc Fa Fc Fe Fd Fd Fe Fd Fa Fd
光斑尺寸(3) μm 2 5 9 20 12 20 35 24 26 25
位移测量                      
分辨率(4) nm 2(8) 5(20) 10(40) 20(80) 2494 150(600)   200(1000) 100(500)
线性度(5)   ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.02%F.S.   ±0.03%F.S. ±0.02%F.S.
精度(5) μm ±0.01 ±0.02 ±0.05 ±0.1 ±0.2 ±0.5   ±0.6 ±0.5
厚度测量(6)                      
最小厚度测量 μm 5 12 22 66 66 73 192 192 200 158
最大厚度测量 μm 100 511 1694 5500 5500 6110 17078 17078 16500 14000
长度 mm 208 171 179 128 143 151 128 143 178.5 141
重量 kg 0.49 0.28 0.22 0.15 0.15 0.28 0.16 0.16 0.46 0.255
直径(7) mm 27/40 27/36 27/32 27 27 27/45 27 27 27/65 27/35

 

型号
With CDS-700
  Pro2 Pro3 Pro4 Pro5 Pro6 MP3
安装距离(1) mm 16.4 52.5 20 68.5 10.1 8.2
量程 μm ±1200 ±550 ±2000 ±5000 ±1050 ±800
最大倾角(2) deg ±38° ±23° ±45° ±17° ±60° ±16°
放大器型号   Fd Fa Fc Fd Fc -
光斑尺寸(3) μm 22 8 15 36.5 16.5 13.5
位移测量  
分辨率(4) nm 20(80) 8(33) 20(80) 150(600) 18(70) 20(80)
线性度   ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.02%F.S. ±0.03%F.S.
精度(5) μm ±0.1 ±0.6 ±0.1 ±0.4 ±0.09 ±0.1
厚度测量(6)  
最小厚度测量 μm 44 20 73 192 40 -
最大厚度测量 μm 3388 1412 6110 13514 2900 -
长度 mm 158 234 261 217 217.08 59
重量 kg 0.31 0.84 1.25 0.57 1.27 0.02
直径(7) mm 27/45 27/65 27/93.4 27/60 27/86 10

 

规格/控制器

型号 CDS-700
采样频率 200Hz-10KHz可设置
光源 宽波长白光(蓝激光激发)
测量模式 位移 / 位移(透明体) / 厚度(透明体)/ 多层(透明体)
通讯控制 以太网(Ethernet 1000M bit)
同步I/O 1 路同步触发输入(电压范围3.3-24V);1路同步触发输出
通用I/O 2路通用输入可监测外部设备开关信号;3路通用输出可用于控制外部设备如报警灯、电磁阀等
编码器 支持最多3路增量式光电编码器计数(A/B项单端信号),编码器计数与传感器测量值(高度/厚度)一一对应;支持编码器等间距触发
光纤连接器 FC/APC
兼容性 兼容所有型号测头(需标定)
电源/功耗 24V DC 3A
使用环境温度 0℃-50℃
使用环境湿度 85%以下无冷凝
重量 2kg
耐振动性 10至57Hz 多幅振幅 0.3mm X、Y、Z方向各2小时
模拟量输出 可定制

 

(1)表中给出的数值是典型值,OP1,OP2,OP3,OP4有±3%的偏差;OP5有±6%的偏差;        
(2)表中给出的数值是测量平面平晶,采样频率在200Hz-4.5KHz时典型值,在5KHz-10KHz时量程约减小50%。        
(3)最大可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的最大可测倾角可达87°;        
(4)在量程中间位置时的光斑尺寸,靠量程近端光斑更小,靠量程远端光斑更大,从中心分别到近端远端差异10%左右;        
(5)分辨率是对静止测量平晶。在量程的中心,以1000Hz的速度测量,内部的滑动平均设定为64次,“()”内无任何平均情况下的测量结果;        
(6)由1nm分辨率的编码器做校准,在位移测量模式下,整个测量范围的最大误差。使用以下设置:1KHz测量速度,倾角为0°。此数据为出厂标定后立即测量结果;        
(7)测量标准阶规(由中国国家计量研究院出具精度报告的,精度优于10nm的阶规)时的典型值;        
(8)在1KHz的测量速度下,折射率修正系数=1.52时,测量的典型值;        
(9)OP1,OP2,OP3,OP4L,OP6,Pro2,Pro3,Pro4,Pro5,Pro6夹持区直径均为27mm,OP1前半段直径为40mm,OP2为36mm,OP3为32mm,OP4L为45mm,OP6为65mm,OP8为35mm,Pro2为45mm,Pro3为65mm,Pro4为86mm,Pro5为60mm,Pro6为86mm。        
         
         
注:以上参数如有变化,以实际产品出厂值为准。        

 

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