线共焦3D测量传感器
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产品描述
参数
对于比较薄的薄膜、玻璃、涂胶等使用光谱共焦位移传感器难以测量， 使用THINKFOCUS的干涉测厚传感器可以轻松测量0.5-50μm的厚度。且可适应范围大，工作距离达到35mm，可以实现在线测量。
测量结果实时记录并导出。
操作方便无需复杂的校准，实时显示，无需复杂的点击操作。
测量速度快，是传统干涉型号100倍速度。以太网通讯，更加稳定快速。
技术参数
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量程（可测量厚度范围） |
0.5-50μm |
| 工作距离 | 7-70mm（根据光斑不同） |
| Z轴动态测量范围 | 5-10mm(对距离无苛刻要求，此范围内波动均可测量） |
| 角度特性 | ±5° |
| 光斑尺寸 | 1-0.1mm（可定制大小） |
| 精度 | 10nm |
| 分辨率 | 1μm |
| 测量速度 | 2000次/秒 |
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显微干涉测厚仪
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