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线共焦3D测量传感器

更准确的高分辨率测量反馈超高分辨率的表面轮廓测量。超高速、高精度的在线测量采用ROCC技术(快速片上计算)的特殊CMOS传感器。

量程：

770-3000μm

工作距离：

10-36.5mm

精度：

0.1-1μm

分辨率：

0.01-0.2μm

关键词：

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详细描述

更准确的高分辨率测量反馈超高分辨率的表面轮廓测量

特制的彩色激光光源加之半导体工艺加工的狭缝滤光器件——实现极强能量的极小测量光斑。并且扫描线是一条真正的完整的光线，而不是同类产品用点拼接出来的线。在保证X方向4.3mm长的前提下，Y方向只有7um宽。利用超色差镜头可以反馈出分辨率超高的表面灰度测量值，将高精度的表面高度测量值和高分辨率的表面灰度测量值叠加到一起实现超高分辨率的表面轮廓测量。