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型号

量程

工作距离

精度

分辨率

共焦三维轮廓测量仪

110 - 11000μm

8 - 215mm

±0.01 - ±0.6μm

2 - 150nm

3D玻璃轮廓测量光谱共焦位移传感器

SM-5000 全新的技术

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注：以上参数如有变化，以实际产品出厂值为准。

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