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共焦三维轮廊测量仪
量程：
110 - 11000μm
工作距离：
8 - 215mm
精度：
±0.01 - ±0.6μm
分辨率：
2 - 150nm
关键词：
所属分类：
详细描述
三维轮廓测量仪采用国际领先的白光共焦技术，非接触式测量，精度高抗干扰能力强。可以对产品的外观，三维形貌进行全方位的扫描，然后再使用分析软件在扫描的三维形貌上面提取所需要的数据。专业的测量算法可以帮您获取到几乎全部的样品参数，三维轮廓、平整度、粗糙度、高差、缝宽等。高精度、高分辨率、高稳定性等优秀的性能使其成功的应用于高校、研究机构及企业的研发与生产中。
其扫描速度最大可达到80mm/s，0.1μm超高的测量精度可满足大多数测量要求，适应各种不同的工业生产环境，广泛应用于手机制造、航空航天等领域的微器件高精度检测。100μm~12000μm的不同量程可供您选择。200×200mm的测量范围可以测量到大多数器件的外观全貌。
| 型号 | SM-5000 |
| 测量速度 | ≤80mm/s |
| 测量点间距 | >5μm 自由设置 |
| 测量精度 | 0.1μm |
| 平台大小 | 200×200mm |
| X和Y方向行程 | 100×100mm |
| 分辨率 | 0.5μm |
| 重复精度 | <1.4μm |
| 最大允许负重 | 2Kg |
| 量程(Z方向) | 360μm/1100μm/3400μm等 |
| 精度（Z） | ±0.1μm/0.5μm/1μm |
| 采样频率 | 200Hz-4.5kHz |
| 适配器额定输入 | 100-240V AC 0.8A 50-60Hz |
| 控制器额定输入 | 24V DC 1A 1.5A(max） |
| 传感器输入 | 24V DC 3A |
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更新时间：
2024-12-20
更新时间：
2024-12-17
更新时间：
2024-12-06
更新时间：
2024-04-22
更新时间：
2022-06-14
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