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共焦二维轮廓测量仪
THINKFOCUS CLS-3000系列 二维轮廓测量仪是一款精密的二维轮廓在线扫描设备。
量程：
110 - 11000μm
工作距离：
8 - 215mm
精度：
±0.01 - ±0.6μm
分辨率：
2 - 150nm
关键词：
所属分类：
详细描述
THINKFOCUS CLS-3000系列 二维轮廓测量仪是一款精密的二维轮廓在线扫描设备。采用全新的超高精密运动装置驱动光谱共焦位移传感器进行在线扫描，主要用于测量产品表面的段差、缝隙，粗糙度、截面轮廓等。
最高扫描速度可以达到50mm/s，线宽15mm。扫描速度可以达到50mm/s，±1um的测量精度，±0.5μm的重复精度可满足您高精度测量需求。
| 型号 | CLS-3000 |
| 测量速度 | 2-20mm/s（可调） |
| 电动台分辨率 | 0.05μm |
| 测量点间距 | ≥2μm自由设置 |
| 行程(X方向) | 30mm-60mm（可选） |
| 重复精度（X） | ±0.1μm |
| 量程(Z方向) | 110-10000μm（可选） |
| 精度（Z） | ±0.1μm/0.5μm/1μm |
| 采样频率 | 200Hz-4.5kHz |
| 主机输入电 | 90-264V AC |
| 主机额定功率 | 400W |
| 传感器输入 | 24V DC 3A |
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更新时间：
2024-12-20
更新时间：
2024-12-17
更新时间：
2024-12-06
更新时间：
2024-04-22
更新时间：
2022-06-14
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